УДК 621.315:621.373
Т.В. Критська (1), зав. кафедри, професор, д.т.н.
Т.М. Литвиненко (2), інженер

ЕЛЕКТРОІМПУЛЬСНЕ ДРОБЛЕННЯ ВИСОКОЧИСТОГО КРИСТАЛІЧНОГО КРЕМНІЮ У ВОДНОМУ СЕРЕДОВИЩІ
(1) Запорізька державна інженерна академія,
(2) ВАТ «Запорізькі магістральні електричні мережі» національної компанії УКРЭНЕРГО
Выполнены экспериментальные исследования и реализован процесс дробления высокочистого крем-ния без использования загрязняющих процессов раскалывания на механических прессах и закалки в воде от температуры 600 °С. Разработана опытная установка, в которой дробление кремния проис-ходит под действием упругой волны в воде, создаваемой мощным электрическим разрядом - катодо-направленным стримером. Электрогидравлическое дробление позволит сократить потери кремния в виде мелких фракций, снизит объемы используемых травильных растворов и улучшит экологию.
Ключевые слова: высокочистый кремний, электрический разряд, дробление, кислотная обработка, за-грязнение поверхности
Виконано експериментальні дослідження та реалізовано процес дроблення високочистого кремнію без використання забруднюючих процесів розколювання на механічних пресах і загартування у воді від температури 600 °С. Розроблено дослідну установку, на якій дроблення кремнію відбувається під дією пружної хвилі у воді, що створюється потужним електричним розрядом - катодоспрямованим стримером. Електрогідравлічне дроблення дозволить скоротити втрати кремнію у вигляді дрібних фракцій, понизити обсяги травильних розчинів, що використовують, і поліпшити екологію.
Ключові слова: високочистий кремній, електричний розряд, дроблення, кислотна обробка, забруднен-ня поверхні
There are carried out experimental researches and the process of crushing for high-clean silicon which is re-alized without the use of contaminating processes of cleavage on mechanical presses and tempering in wa-ter from a temperature 600 °С. It is worked out pilot apparatus, in which crushing of silicon takes place under the action of elastic wave in water, created by a powerful electric discharge – cathode directed streamer. The electro-hydraulic crushing will allow to shorten the losses of silicon as shallow factions, will reduce the vol-umes of the used etching solutions and will improve ecology.
Keywords: high-clean silicon, electric discharge, crushing, oxidization, contamination of surface
ЕЛЕКТРОІМПУЛЬСНЕ ДРОБЛЕННЯ ВИСОКОЧИСТОГО КРИСТАЛІЧНОГО КРЕМНІЮ У ВОДНОМУ СЕРЕДОВИЩІ